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1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 
6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。 
8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 
9、真空泵的价格、运转及维修费用。

这个化工手册有公式的，可以去查下！S=QRT/(P*M)
S是抽气率  Q是系统漏气量，放气量。T是温度，P系统压力 M是系统气体分子量！

真空计算常用公式 
1、玻义尔定律
        体积V，压强P，P•V＝常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。
即P1/P2＝V2/V1）
2、盖•吕萨克定律
     当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1/V2＝T1/T2＝常数）
        当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。
3、查理定律
           当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：P1/P2＝T1/T2
              在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。
4、平均**程：
     λ＝(5×10-3)/P (cm)
5、抽速：
      S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P
       Q＝流量(托•升/秒) P＝压强(托)　　V＝体积(升) t＝时间(秒)
6、通导： C＝Q/(P2-P1) (升/秒)
7、真空抽气时间：
        对于从大气压到1托抽气时间计算式： t＝8V/S (经验公式)
     （V为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。）
8、维持泵选择：
       S维＝S前/10
9、扩散泵抽速估算：
      S＝3D2 (D＝直径cm）
10、罗茨泵的前级抽速：
     S＝(0.1~0.2)S罗 (l/s)
11、漏率：
       Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1)
            Q漏－系统漏率(mmHg•l/s)             V－系统容积(l)
           P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg)
          P2－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)
           t－压强从P1升到P2经过的时间(s)
12、粗抽泵的抽速选择：
       S＝Q1/P预 (l/s)
      S=2.3V•lg(Pa/P预)/t
           S－机械泵有效抽速            Q1－真空系统漏气率(托•升/秒)
            P预－需要达到的预真空度(托)     V－真空系统容积(升)
         t－达到P预时所需要的时间        Pa－大气压值(托）
13、前级泵抽速选择：
           排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：
  PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn
    Sg－前级泵的有效抽速(l/s)  Pn－主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s)
  Pg－真空室最高工作压强(托)   S－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)
14、扩散泵抽速计算公式：
      S＝Q/P＝(K•n)/(P•t)(升/秒)
式中：S－被试泵的抽气速率(l/s)     n－滴管内油柱上升格数(格)
t－油柱上升n格所需要的时间(秒)   P－在泵口附近测得的压强(托)
K－滴管系数(托•升/秒)    K＝V0•(L/n)•(Υ0/Υm)+Pa△Vt
               其中V0－滴管和真空胶管的原始容积(升)    L－滴管刻度部分的长度(mm)
           n－滴管刻度部分的格数(格)            Υ0－油的比重(克/厘米3)
         Υm－汞的比重(克/厘米3)           Pa－当地大气压强(托)
          △Vt－滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)
15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：
     S＝πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)
       式中：Z为旋片数，n为转速(转/分)，L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径(cm)，Kv为容积利用系数(一般取95％)。
16、O型橡胶槽深B＝0.7D
           D为橡胶直径，槽宽C＝1.6B
17、方形橡胶槽深B＝0.8A
          A为方形橡胶边长，槽宽C＝1.67B                                      
选用真空泵时，需要注意下列事项：
    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 
    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。 
    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 
    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。 
    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 
    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。 
    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 
    9、真空泵的价格、运转及维修费用。 
本文由上海泰通水泵提供:http://www.sttpump.com/